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ZC40 温控器
SEMI Chiller温控器主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。

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ZC80 温控器
ZC80 温控器 SEMI Chiller温控器主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。

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ZH80 温控器
SEMI Chiller温控器主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。

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ZU35 温控器
SEMI Chiller温控器主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。

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ZL50 温控器
SEMI Chiller温控器主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。

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