在当今高科技制造业中，特别是在半导体行业的CVD/PVD、Etch和IMP等关键工序，对温度的精确控制是保证产品质量和工艺稳定性的关键。Chiller高精度冷热循环器是一种通过制冷剂循环实现精确温度控制的设备，广泛应用于半导体制造、激光、医疗及精密实验室等领域。

      Chiller ZC209是一台对循环液进行温度控制并输出冷热液的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障自诊断、外部通信等丰富功能。采用先进的制冷及温度控制技术，具有广泛的温度范围:-20℃至+90”℃，在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/LCD制造装置/金属模具温控等行业用途广泛，

       Chiller ZC209 的工作原理：

       压缩机：将低温低压的制冷剂气体压缩为高温高压气体，提升内能。

       冷凝器：高温高压气体通过冷凝器与冷却介质（如水或空气）热交换，释放热量并冷凝为高压液体。

       膨胀阀：高压液体经节流降压，变为低温低压的气液混合物。

       蒸发器：低温低压混合物吸收被冷却介质的热量，使其温度降低，同时制冷剂蒸发为气体，重新进入压缩机循环。

       Chiller ZC209 的核心优势

       高精度控温：

       ·温度稳定性±0.5℃，满足半导体制造等严苛场景需求。

       ·采用PID控制技术、前馈控制算法及多传感器融合（如铂电阻、红外热像仪），实现温度快速稳定跟踪。

       宽温度范围：

       ·支持-20℃至+90℃的宽域温度控制，覆盖多样化需求。

       高稳定性与可靠性：

       ·多重保护：超温超压干烧漏电以及误操作等多重人机保护。

       ·运行稳定可靠：元件均采用知名器件，自研控制系统高效稳定

       智能化与易用性：

       触摸屏操作：友好的人机交互界面，支持远程通信操作、历史数据存储与导出

       Chiller ZC209 的应用场景

       1.半导体制造：

       ·光刻与蚀刻工艺：确保光刻胶涂布温度波动±0.5℃，避免线宽偏差。

       ·EUV光源冷却：维持光刻机反射镜温度恒定，避免镜面形变。

       ·焊线机温控：稳定键合头温度，提升焊接强度与良率。

       2.激光与医疗设备：

       ·为激光器提供稳定冷却，确保光束质量；在医疗设备中维持恒温环境，保障治疗安全性。

       3.精密实验室：

       ·模拟极端温度条件，研究物质性质变化；为高精度量测设备（如SEM、AFM）提供稳定温度环境，提升测量准确性。

       4.工业生产：

       在制药、化工等领域，控制溶液温度防止溶质变性，加速溶剂蒸发，缩短生产周期。