ThermoTST GC80

产品详情

ThermoTST GC80气体制冷机是一种闭环制冷系统,设计用于将干燥气体(如氮气,氩气或空气)从环境温度冷却到低温状态。

ThermoTST GC80气体制冷机使用制冷级联技术,以实现低温和超低温冷却气体冷却工艺,无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂,降低了成本、风险;是气体制冷应用非常具有成本效益的系统。ThermoTST GC80是高度可靠的制程气体制冷系统,广泛用于航空航天,汽车,国防,半导体和其他行业。

 

特点

结构紧凑,移动式设计

触摸屏操作,人机交互界面

不需要液氮LN2,干冰

出口气体流量可自行设定

集成式气体干燥器,无需外置(压缩空气配置选项,小于24SCFM的系统)

单级压缩机,节能环保,性能可靠

风冷或水冷机型可选

专有制冷剂,符合环境气候协议

 

应用

电子产品的低温性能验证

半导体加工部件冷却

晶圆卡盘的低温冷却

真空腔室的低温气体充注

流变学研究

材料的低温表征实验

 

技术规格

有效温度范围 ≤ -80℃
流量范围 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s)
供气流量 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
性能 ≤-80°C,制冷机输出18SCFM
预冷时间 ≤ 20min
系统操作 高清彩色触摸屏,7”TFT
系统语言 中文/英文
进/出气接口

1/4”Rc Female

3/8”Rc Female

通讯接口 RS-232,LAN
制冷剂 环保型冷媒
噪音 ≤65dBA
供气气源要求
气体 各种干燥气体(如:氮气,氩气,氧气等)或洁净的压缩空气
气体含油量 油分子:≤ 0.01ppm,过滤至0.1um的油雾污染物
进气温度 +5°C至+25°C
CDA时压力露点 < 10℃ @0.62Mpa(90PSI)
CDA时进气压力 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);标准25SCFM(11.8L/S)
设备工作环境要求
温度 +10 ºC 至 + 25 ºC
相对湿度 5% 至 85%