Chuck升级与改造
CHUCK系统温度范围涵盖的-60℃到+200℃;常温到+200℃(高温可选+300℃),采用先进的制冷技术,能够实现快速降温和精准控温。同时,我们采用高品质的材料和制造工艺,确保系统的高可靠性和长寿命。我们针对各种探针台和不同的客户测试需求,皆可提供对应的升级方案。

产品详情

TC-A系列是一款温度范围为-60℃到+200℃(可选+300℃)气冷型高低温晶圆卡盘系统,主要由空气冷却卡盘和温控器组成。系统具有宽泛的温度控制范围、紧凑的冷却套件、纯空气制冷、高温度精度与稳定性控制等特性,广泛应用于各种尺寸(4”,6”,8”12”)的半导体器件或晶圆的变温电学性能关键参数分析,如:功率器件建模测试、晶圆可靠性评估、生产型变温检测,变温光电测试、射频变温测试等。同时,我们采用高品质的材料和制造工艺,确保系统的高可靠性和长寿命。我们针对各种探针台和不同的客户测试需求,皆可提供对应的升级方案。

适用品牌: 美国Cascade, Electroglas, MPI , EVERBEING Wentworth ,Hprobe,Micronics Japan, KeyFactor Systems,MicroXact,SemiProbe, Micromanipulator,国内品牌的手动/半自动探针台

升级内容:

1. CHUCK安装和国产化替代;

2. 高低温防结霜的微腔定制;

3. CHUCK平整度调节;

4. 基于探针台的平整度调试;

5. 软体兼容调试

 

服务的标准

速度:1小时内响应,24小时内提供实施方案。

专业:多名工程师与ThermoChuck/ThermalChuck相伴10多年。

维修:原厂标准服务。

料件:原厂品牌料件。

保障:提供交换式维修。

信息:设备档案更新与备份,做客户设备的管家。